波長が可視光線より長い電磁波で透過して観察する顕微鏡のこと。
透過可能波長は900nmから1200nm(近赤外線)に対応しております。
主な得意観察対象は、半導体関連のシリコンチップのBGA(ボールグリッドアレイ)の欠陥箇所、シリコンウェハーの露光での位置出し装置に活用せれております。